1 双氧水稳定性(分解)原因
温度的影响：温度过高(超过30℃)，双氧水分解速度加快。
铜离子(Cu2+)的升高也会使双氧水加快分解，当铜离子达到20g/L时，开始促进双氧水的分解，当铜离子达到25g/L时，双氧水的分解速度会加快。
1.1 建议对策
(1) 控制微蚀槽液的反应温度，范围22~30℃；
(2) 控制微蚀槽液中铜离子的含量，反应时间久了需控制铜离子的浓度≤45g/L(该数值为业内规定，具体参数可依据现场需求而定)；
(3) 添加双氧水稳定剂，该试剂内含极性原子功能团的有机化合物，如羟基-OH、羧基-COOH、磺酸基-SO2H、胺基-NH-。
2 氯离子的影响
槽液中的氯离子对微蚀速率影响很大，随着氯离子浓度的升高，，无论采取何种方式，只能维持低微蚀速率，要想有效提高微蚀速率，只能通过延长微蚀反应时间来实现。
作用效果：氯离子、温度、双氧水含量。
备注：氯离子在强酸环境中会产生氯气(Cl2)，其反应如下：
$$Cl_{2}+H_{2}O \rightleftharpoons Cl^{-} + 2H^{-} + ClO^{-} (可逆反应) $$
当酸性过强的时候，可逆反应转向生成氯气，但所生成的量不足以挥发出来，只能溶解在水中，但当酸性不足之时，可逆反应转向以维持平衡的酸性，保证氧化效果的均匀性，但当氯离子的浓度过高时，可逆反应转向生成氯气的一方，因此微蚀速率就会降下来，同时还会挥发少量的氯气。
$$ H_{2}O_{2}+Cl_{2} = O_{2} + 2HCl $$
因为氯气的氧化性强于双氧水，所以在双氧水体系的微蚀液中，控制氯离子的含量是很重要的，故而氯离子偏高会使微蚀的双氧水分解。
3 常见异常的处理
(1) 板面发黑
硫酸浓度过高，通过降低槽液的硫酸浓度来改善之。
(2) 微蚀深度不足
化验分析硫酸、双氧水、铜离子的含量，确认是否硫酸、双氧水浓度过低或低铜离子含量偏高，如果硫酸、双氧水浓度过低可进行补充校正硫酸、双氧水含量至正常即可，如果铜离子偏高，则1/3体积槽液，再补充液位及分析补足成分含量即可。
(3) 微蚀速率过高
检查温度是否偏高；分析硫酸、双氧水含量并补充至正常范围内。
(4) 微蚀速率过低
化验分析铜离子是否偏高，如偏高则需要重新更换槽液。
